美國(guó)Parker調(diào)壓閥,派克應(yīng)用參數(shù)

美國(guó)Parker調(diào)壓閥,派克應(yīng)用參數(shù) 減壓閥適用于惰性氣體和腐蝕性氣體，為階躍函數(shù)流量需求變化提*出色響應(yīng)。產(chǎn)品采用自動(dòng)定心束縛膜片設(shè)計(jì)，提供穩(wěn)定閥座密封和壓力調(diào)節(jié)。沒(méi)有閥芯彈簧和閥座滯留螺紋，這樣大限度減少粒子生成和截留，進(jìn)一步提*工藝清潔度和吹掃**.

美國(guó)Parker調(diào)壓閥,派克應(yīng)用參數(shù)  
功能詳情:
緊湊型減壓閥:PR系列緊湊型減壓閥，單級(jí)式膜片減壓結(jié)構(gòu)，不銹鋼膜片壓力傳輸，輸出穩(wěn)定，適用于純凈氣體、腐蝕性氣體和非腐蝕性氣體;特點(diǎn)，波紋式膜片調(diào)壓;金屬-金屬膜片密封;彈簧加載調(diào)節(jié)壓力;內(nèi)設(shè)過(guò)濾網(wǎng);可選擇面板安裝。
中等流量減壓閥:PM系列中等流量減壓閥，單級(jí)式膜片減壓結(jié)構(gòu)，不銹鋼膜片壓力傳輸，輸出穩(wěn)定，主要應(yīng)用于中等流量氣體系統(tǒng);
常規(guī)*壓減壓閥:PH系列常規(guī)*壓減壓閥主要用于*輸入壓力系統(tǒng)，活塞式減壓結(jié)構(gòu)，**穩(wěn)定，壓力入口達(dá)6000psig，出口壓力0~2500psig，適用于純凈氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體、腐蝕氣體等;特點(diǎn)，安全可靠的活塞壓力感應(yīng)設(shè)計(jì);內(nèi)設(shè)過(guò)濾網(wǎng);可選面板安裝。
Veriflo部門(mén)的FR1000系列調(diào)節(jié)閥是非束縛隔膜的減壓閥， 提供低至中等流量的能力與入口壓力為3500 psig.FR1000提供工藝氣體導(dǎo)致在一個(gè)穩(wěn)定的流量和下游系統(tǒng)使其成為閥箱、氣瓶柜優(yōu)良的選擇壓力提供正確的控制，和許多半導(dǎo)體制造中的應(yīng)用.
標(biāo)準(zhǔn)的哈氏合金C-22®隔膜和綜合過(guò)濾促進(jìn)壽命長(zhǎng)**的同時(shí)，金屬對(duì)金屬密封膜片以獲得*度密封性。
FR1000提供相同的質(zhì)量、穩(wěn)定性和**水平的派克產(chǎn)品的預(yù)期，在一個(gè)*度競(jìng)爭(zhēng)的價(jià)格點(diǎn).新**線補(bǔ)充了我們現(xiàn)有的，保費(fèi)qr4000和hf1200系列穩(wěn)壓器，和組合，將廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體制造中的應(yīng)用。
P31R模塊化全球迷你型減壓閥，可以提供一個(gè)方便和低成本的方法，把供氣壓力降低調(diào)節(jié)到需要的出口壓力。這些減壓閥對(duì)大多數(shù)的工業(yè)應(yīng)用場(chǎng)合都可以提供快速的響應(yīng)調(diào)壓。它們通常被用于各種各樣的應(yīng)用場(chǎng)合，需要減少壓力來(lái)滿足節(jié)能、安全需求、氣動(dòng)回路控制和氣動(dòng)儀器儀表的需求。
對(duì)于特定的流量和空間限制的應(yīng)用場(chǎng)合，該產(chǎn)品可以提供一個(gè)不犧牲**的解決方案。減壓閥將波動(dòng)的進(jìn)氣壓力調(diào)節(jié)到減壓閥本身工作范圍內(nèi)的相對(duì)恒定的降低的出口壓力。P31R可以使用模塊化連接塊連接到其他P31全球氣源處理產(chǎn)品上。各種可用的選項(xiàng)使這—系列產(chǎn)品易于滿足您的應(yīng)用。

派克Veriflo產(chǎn)品組SMSQ2Micro (0.06 Cv)和SMSQ2Micro130E(0.15Cv)是市場(chǎng)上先進(jìn)的微型超*純減壓閥。產(chǎn)品提供精密且穩(wěn)定的壓力控制，提*了MFC(質(zhì)量流星控制器）的**，這對(duì)半導(dǎo)體**的重復(fù)性和產(chǎn)量至關(guān)重要。產(chǎn)品同樣表現(xiàn)出優(yōu)異的泄露完整性和底粒子生成，以減少對(duì)半導(dǎo)體應(yīng)用中至關(guān)重要的的過(guò)程污染.

減壓閥適用于惰性氣體和腐蝕性氣體，為階躍函數(shù)流量需求變化提*出色響應(yīng)。產(chǎn)品采用自動(dòng)定心束縛膜片設(shè)計(jì)，提供穩(wěn)定閥座密封和壓力調(diào)節(jié)。沒(méi)有閥芯彈簧和閥座滯留螺紋，這樣大限度減少粒子生成和截留，進(jìn)一步提*工藝清潔度和吹掃**.
SMSQ2Micro接液部件由特殊金屬制備，提供優(yōu)異的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥體材料為內(nèi)部電解拋光Vericlean"M316L不銹鋼。Vericlean”是派克公司的UHP超*純級(jí)不銹鋼。膜片和閥芯材料為哈氏合金C-228。這些材料與SMSQ2Micro系列設(shè)計(jì)特點(diǎn)相結(jié)合，使SMSQ2Micro系列具有強(qiáng)耐腐蝕性和更*循環(huán)壽命，入口壓力*達(dá)250.
SMSQ2Micro和SMSQ2Micro130E均采用與量子閥相同間距接口，符合SEMI模塊化接口規(guī)范.

SMSQ2Micro系列減壓閥的內(nèi)部（閥座）密封和金屬外部密封通過(guò)氦泄漏測(cè)試，使用質(zhì)譜儀以獲得在苛刻超*純應(yīng)用中的**和穩(wěn)定性.

美國(guó)Parker調(diào)壓閥,派克應(yīng)用參數(shù)